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晶圆搬运设备
应用行业：
半导体
,
工业自动化
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晶圆搬运设备
应用行业：
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,
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设备功能
晶圆转运，传送
相关工艺
晶圆机械手传输，相机检测，离子除静电
设备类别
全自动晶圆传输
设备优点
支持4-12寸晶圆，支持最大晶圆翘曲10mm
时间节拍
5s
